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石英管的選用
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石英管的選用

發布時間:2019-10-18 瀏覽:371次 字號:  
閉管擴散要用石英管,這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫,而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘,能做成所需要的形狀。另一方面,由于石英管采用的原料是特級水晶石,純度高,含有害的雜質很少,對于擴散、配制合金等能保證質量,因此閉管擴散常采用石英管。
石英管的制備:根據擴散硅片直徑的不同,來選擇石英管的內徑、壁厚等參數。
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